Z ߱ þ ӹ ݵü ǰ ü .
27 Ǿ迡 Ⳳ Z DSι ʵ ߱ þ 5 ٰ .
þ ̱ ػ罺 ƾ 忡 Z ι° ؿ ̴. 70 ( 7~8) Ե ̴. Zڴ þ 忡 3 V ȹ̴.
۵Ǹ, 䰡 δ. ݵü ھü ŷϴ ǰ ü . (www.itooza.com) ݵü ǰ ѼɹĮ, ũ, , н, ż, ֺ극, , QnC, Ƽ, Ʈ, OCIƼ, , ISC, ũؼ ǥ̴.
ݵü ǰ ü, ϴ ǰ?
ݵü ǰ ũ ü, ǰ, Ư, Ʈ ִ. ü縦 ü ѼɹĮ, ũ, н, ż簡 ִ. ѼɹĮ ݵü ̴ ȭҸ , ũ İ, ڸ Ѵ. н ݵü , , , ż ݵü İ Ѵ.
ݵü ᡤǰ ü ֺ극, , QnC, , Ƽ ǥ̴. ֺ극 ݵü 縦 , İ ̴ Ǹ ϷƮε(Silicon Electrode) Ǹ (Silicon Ring) Ѵ. QnC ۸ ϰų Ҽκ ȣϴ ǰ ϸ, ݵü Ǵ ü ַ ǰ̴. Ƽ ݵü ȸε 丶ũ ̹κ ȣϴ 縮Ŭ .
Ʈ OCIƼ ݵü Ǵ Ư . OCIƼ ϴ ȭ(NF3) ȭб(CVD) ִ ܷ ϴ Ѵ.
Ʈ üδ , ISC, ũؼ Ѵ. Ʈ ɰ Ѵ. ISC Ʈ , ũؼ Ʈ Ѵ.
ݵü ǰ ü, ŷµ?
ٸ ݵü ǰ ü ŷµ . ڿ ü ֽMRI м , ֺ극 25 23 1% ö.
δ 繫 , 强, â ι 5 Ҵ. ̼ǰ Ÿ. ũؼֵ ֽMRI 20 ö. ̼ ϰ Ҵ.
ۿ ISC 18, 16, ѼɹĮ 15, QnC 14, Ʈ 13, OCIƼ 12 Ÿ.
( 0)