| ' º' ˷ 췮 ߿ ܱ 'ū' ڵ Ȯϴ ֽ ڿ մϴ. Ϸ翡 ºθ ƴ, ú ɱǿ δ ȰϽñ ٶϴ.
ܱ ڰ ũ ֽ ̰ ִ. 9 ü ܱ 12 ʺ ϱ 7 ũ 9%p żߴ. ̿ 6% 15% ´. ̴ 2006 1 ְ ̴.
ڴ ̹ 1 9 ũ ºַ ٷ ִ. (ٷΰ [º] ũ, ݵü ȸ) ְ Ұ 14950 26% ´. 췮 ū ؿ ٽ ºַ Ұ ϰ ־ ҰѴ.
ݵü ȸ
ũ ݵü ü. ݵü ũ () () µ, ݵü Ĩ ϴ ̰ İ ̸ ϰ ˻ϴ ̴. ũ ߿ ϴ . Z SK̴н ̵ ڸ Ȯϸ ȴ.
ũ ַ ǰ ȭб(LP-CVD) . LP- CVD ٸ ȭй ڵ ݵü ǥ鿡 ߷ ̳ ڸ Ű . ݵü ݵü (Layer) ʿ䰡 ִ. Ⱑ ϴ κа ʴ κ нŰ ؼ. ¿ ð ؾ ϰ, ̼ ־. LP-CVD ¿ ݵü ̼ȭ, ڸȭ ´.
ũ 1б 252 ⺸ 66% پ. ް 61% 704100, ( ) 60% 602000 ߴ. ǰ Ϲݱ ÷ ڰ ҵ ߴ.
ֽMRI м , 2%
ڰ ֽMRI м ũ ŷµ 25 20 ü 26( 2%) ߴ.
ֽMRI ڿ ü ǽð м . MRI ͼ强 繫 Ӹ ƴ϶ Ӽ ִ ° ְ ر Բ ǴѴ. ֽMRI 25 ְ ̸ 췮 ̴. 5 ΰ · Ÿ.
( 0)