23 10 48 1% 24250 ŷǰ ִ. ֱ 3 · 7.5%.
̴ Z, ̴н Ȯ뿡 ü ̶ 밨 ݿ Ǯ̵ȴ.
ִ ߴ ũ 1б ȣ 弼 ߴ. 752 ⺸ 146%, 186 197%, 150 194% þ. ݵü ü ڰ Ȯư, 븸 þ â ̷ ִ б ߴ.
ǰ , . 17 Ʈ̵ Z, SK̴н ÷ ɷ Ȯ 20 ʹ ̼ ȯ ȭǸ鼭 ũ LP-CVD ΰ ߴ. , Cyclic CVD ű ڸ ϵ ȴٰ ٿ.
ũ ݵü () Ǵ ȭб(CVD) ϴ ȸ. ȭб ̶ ȭ ڸ ǥ鿡 ̳ Ű ̴. ȣ Ѵ.
ũ ȭб 'ȭб' (LP-CVD) . ¿ ð ؾ ϰ, ̼ ٴ ־. ũ ̷ ȿ ذ ־ ݵü ̼ȭ, ڸȭ ϴ.
ֱ Ʈ ⸦ ߽ ǰ 'ڴܼ'(, , ª, ) ٽ ö, ݵü ̼ȭ, ڸȭ ӵǰ ִ.
ֽMRI м, 1%
ڰ ֽMRI м ũ ŷµ 25 23 ü 5( 1%) ߴ.
ֽMRI ڿ ü ǽð м . MRI ͼ强 繫 Ӹ ƴ϶ Ӽ ִ ° ְ ر Բ ǴѴ.
ֽMRI 25 ְ ̸ 췮 ̴. 5 ΰ · Ÿ.
( 0)