ݿ Zڰ ʷ 10 Ѵ 101000 б (3б ġ) ǥߴ. ⺸ 25% ġ ǻ ġ 99000 ȸߴ. ǰ Ʈ Ǹ ȣ ¿ ݵü ¹ ؼѴ. ֿ Ծ Ʈ ̴ Ǯ̵ȴ.
Ʈ 1993 ݵü () ü. ݵü Ĩ ϼ Ĩ ˻ϰų ϴ İ . ݵü 80% ϸ, ȭ ǰ üϸ о߷ .
ȸ ַ ǰ нȭ(LP-CVD). Ǹ ȸθ Ĩ Ⱑ ϴ κа ʴ κ Ѵ. LP-CVD ݵü Ư ȭй ڵ ݵü ǥ鿡 () ̳ ڸ Ű ۾ Ѵ.
ݵü ٽ ش ֿ Z, SK̴н ű ڽ ǰ ֹ ̷. Ư Ʈ ϸ Ȯߴ. ݵü ʿ ο 䱸DZ ̴. ũ ִ.
ֱ Ʈ ߴ. ű Ը ϸ, ǰ Ǹŷ ߱ ̴. 1б(13 4~6, 3 ) 318 Ⱓ 35% پ. 39 40% ߴ.
ٸ Ϲݱ , δ غ ȴ. Zڰ Ϲݱ (DRAM) ̼ȭ ڿ ߱ þ DZ ̴. ǰ ̷ ݿ Ʈ ؿ ȸ Ѵ.
ֱ 츮 8 7 Ʈ 2013 1688, 220 ߴ. ̴ 38%, 62% Ը. 188 59% ٺô. ݿ ְ(PER) 8.2.
ֽMRI м , 16%
ڰ ֽMRI м Ʈ ŷµ 25 15 ü 282( 16%) ߴ.
繫 ̴. Һ ȭǸ ͼ ϶ ɼ ִ.
ֱ 强 2 ټ Ҵ. PER 15.8 5 ġ 13.3 ݿ ̼ 1 Ҵ.
ֽMRI ڿ ü ǽð м . MRI ͼ强 繫 Ӹ ƴ϶ Ӽ ִ ° ְ ر Բ ǴѴ.
ֽMRI 25 ְ ̸ 췮 ̴. 5 ΰ · Ÿ.
( 0)