SK̴н ű ް üߴٴ ҽ Ʋ° ¼. 26 2 50 2.2% 9000 ŷ ̴.
̳ SK̴н 38 Ը ݵü ް üߴٰ ߴ. ش ݾ 703 5% شϴ ̴.
̷ν 2б 4 ű ݾ 1666000 ƴ. (ڰ ) ̴ 24% شѴ.
ݵü ȸ
ݵü ȸ. ȭ(CVD) ַ ǰ̴. ݵü ũ ȸθ ˻縦 ϴ İ . ݵü 忡 ϴ 77% ϸ 9%, ˻ 14%.
ݵü ݵü (Layer) ʿ䰡 ִ. Ⱑ ϴ κа ʴ κ нŰ ؼ. CVD ٸ ȭй ڵ ݵü ǥ鿡 ߷ ̳ ڸ Ű . ݵü ȸθ ¿ ۾̾. CVD ¿ ȭп ݵü ǥ鿡 ִ.
CVD ǰ ¿ ݵü ϴٴ ִ. ݵü 뷮 ݵü (Diffusion) ȣߴ. ݵü ̼ ݵü δ ϴ. ݵü ̼ϼ ؾ Ѵ. 뵿 ȣ Ѱ谡 ־ CVD üǰ ִ. ݵü ̼ȭ ݵü ִ.
( 0)