1. ÄöƮŬ·´ Àü·«: MRI
2. ÇÙ½É Àü·« ÁöÇ¥: MRI 21
3. ½ÃÀåºÐ·ù: ÄÚ½º´Ú
4. »ê¾÷ºÐ·ù: ¹ÝµµÃ¼ (¿¡ÇÁ¾Ø°¡ÀÌµå ±âÁØ)
5. »ç¾÷ºÐ¾ß: ¹ÝµµÃ¼ Àü(îñ) °øÁ¤ÀåºñÀÎ LP-CVD(Àú¾ÐÈÇбâ»óÁõÂø) Á¦Á¶¾÷ü
6. 2ºÐ±â ½ÇÀû: ¸ÅÃâ¾× 762¾ï¿ø(+ Àü³âºñ 44.1%) ¿µ¾÷ÀÌÀÍ 60¾ï¿ø(- Àü³âºñ 3.3%)
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