29 NH ϳƼ Ȯ븦 Ȯ ٺô. ǥ ǰ ʾҴ.
ϳƼ ݵü ɼ ǰ Ѵ. ֿ ǰδ Ǹ(Si) Ring Electrode ü 90% Ѵ. Si Ring Electrode ݵü İ Ǵ ٽ ǰ̴.
ü Ȯ 䰡 þ ̴. Zڰ ű ߴ. SK̴н ű ϰ ־ ݵü ǰ 뷮 þ ̴.
ϳƼ غ ϰ ִ. ű ϰ ̴. NH ű ϰʿ ɷ 10,000ſ 20,000ŷ 2 Ȯ ߴ.
ű CVD SiC(Ǹ ī̵) Ring ȭ ̴. CVD SiC Ring ű ϰǸ ̴. SiC Ring ö ߵ ־ ǰ Ⱓ . Sic Ring , ǰ ִ ü ʾ µ ٰ ߴ. , ״ ű ǰ Ȯ밡 ϳƼ ͼ ̾ мߴ.
ɼ ȴ. ֱ ֿ ϷƮ ۷ι ݵü ߴ. ϷƮ İ 2016 29%뿡 2017 40% ߴ. ϳƼ ġ ű Ȯ ɼ ߴ ġ İ 忡 50% ̻ ϰ ִ.
2018 61% 1658, 96% 463̴.
̳ 10 25 ϳƼ 0.2% 25000 ŷǰ ִ. ð ðѾ 2401 () 357 6.7.
( 0)