ũ ص ڸ ߴ. 2007 ڸ ǽϰ ִ.
21 Ǿ迡 ũ 1ִ 0.05ָ ϴ ڸ ǽѴٰ ߴ. ̿ 69003ְ ֽѼ 21097527ַ þ ȴ. 1 1ϱ ָο ִ ָ ִ. 1 22̴.
ũ 2007 ڸ ǽϰ ִ. (2007) 1ִ 0.5ָ ϴ ڸ ߴ. 2008 ʾ, 2009 ٽ 50% ڸ ǽߴ. ų 1ִ 0.03ָ ϴ ڸ , ؿ ڸ ߴ. Ը ũ ŭ, ܼ ŷ Ȯ븦 ƴ Ǵܵȴ.
ũ ڿ Բ 1ִ 150 åѴٰ ߴ. ְ 16900 ð 0.9%. ũ ų ڿ ñ ø ´.
Z ÷
ũ ݵü ü ȭб(LP-CVD) ַ ǰ̴. ݵü ʿ ȭ, , ϴ Ѵ. Z, SK̴н ݵü ھü ڰ ǥ.
ũ ֱ ȣ ̴. 3б 201 9% þ. 496000 17% , ȸ ݿ 411000 5% þ. ũ ۳ 2б ó̴.
ũ ȯ ̴. ݵü ڰ ̾ ̱ ̴. Zڴ 3 ÷ ڸ ̴. 7~8 ϴ ߱ þ ÷ 1ܰ ڰ ´. 60% ڱ ҿ ϸ 23ܰ ڿ 3 δ. Ư 3 ÷ ȭ(CVD) ũ CVD ̴.
ü (WiseFn) ֱ 3 ǻ簡 ũ 4б ġ 416, 113̴. ۳ 4б⺸ 216%, 178% þ ̴.
( 0)