| ' º' ˷ 췮 ߿ ܱ 'ū' ڵ Ȯϴ ֽ ڿ մϴ. Ϸ翡 ºθ ƴ, ú ɱǿ δ ȰϽñ ٶϴ.
ũ ְ ݵϰ ִ. ũ ְ ۳ 4 25300 11 11000 56% ߴ. ۳ ݵ ũ 52 35% 15150뿡 ŷǰ ִ. ũ ֱ 6 ͷ ͷ ȸߴ. ũ ٽ αֽ Ȱ .ݵü ȸ
ũ ݵü ü ַ ǰ нȭġ(LP-CVD). ݵü ݵü (Layer) ʿ䰡 ִ. Ⱑ ϴ κа ʴ κ нŰ ؼ.
LP- CVD ٸ ȭй ڵ ݵü ǥ鿡 ߷ ̳ ڸ Ű . ݵü ȸθ ¿ ۾̾. LP-CVD ¿ ȭп ݵü ǥ鿡 ִ.
ũ CVD ǰ ¿ ݵü ϴٴ ִ. ص ݵü 뷮 ݵü (Diffusion) ȣ Դ. ݵü ̼ ݵü δ ϴ. ݵü ̼ϼ ؾ Ѵ. 뵿 ȣ Ѱ谡 ־ CVD üǰ ִ. ݵü ̼ȭ ũ ݵü ִ.
ֿ Z üڰ ݱ ߵ ũ 3б ߴ. ũ 3б 186 46% ߴ. ҷ 3б ͵ 78 46% 42 ƴ.
ֱ ܱ ż
ܱ ۳ 7 ũ ֽ ŵϱ ߴ. ũ ܱ ۳ 7 10% 11 6% ϶ߴ. ֱ ܱ Ÿŵ ̰ ִ. ܱ 4Ϻ ŷ ũ ֽ żϰ ִ. ũ ܱ 6% 8.4% ϰ ִ.
KBڻ ũ 8.2% ִֿ. ġڹ 8.1% ϰ ִ. ũ ִ Ư ũ 37.6% Ȯϰ ִ.
ֽMRI м , 1%
ڰ ֽMRI м ũ ŷµ 25 23 ü 3( 1%) ߴ.
ֿ ϸ 繫 ̴. Һ ͼ ɼ .
ֽMRI ڿ ü ǽð м . MRI ͼ强 繫 Ӹ ƴ϶ Ӽ ִ ° ְ ر Բ ǴѴ. ֽMRI 25 ְ ̸ 췮 ̴. 5 ΰ · Ÿ.
( 0)