| ' º' ˷ 췮 ߿ ܱ 'ū' ڵ Ȯϴ ֽ ڿ մϴ. Ϸ翡 ºθ ƴ, ú ɱǿ δ ȰϽñ ٶϴ.
ְ ϶ϰ ִ. ۳ 9 4750 ְ ϶ ݵ 2 1100 2 ̻ ְ ݵߴ. ٽ ְ ϶ ۵ ֱٿ 52 ְ 25% 7540뿡 ŷǰ ִ. ֱ 6 ͷ ȸߴ. ְ ٽ ݵ .ݵü ȸ
ݵü ȸ. ȭ(CVD) ַ ǰ̴. ݵü ũ ȸθ ˻縦 ϴ İ . ݵü 忡 ϴ 77% ϸ 9%, ˻ 14%.
ݵü ݵü (Layer) ʿ䰡 ִ. Ⱑ ϴ κа ʴ κ нŰ ؼ. CVD ٸ ȭй ڵ ݵü ǥ鿡 ߷ ̳ ڸ Ű . ݵü ȸθ ¿ ۾̾. CVD ¿ ȭп ݵü ǥ鿡 ִ.
CVD ǰ ¿ ݵü ϴٴ ִ. ص ݵü 뷮 ݵü (Diffusion) ȣ Դ. ݵü ̼ ݵü δ ϴ. ݵü ̼ϼ ؾ Ѵ. 뵿 ȣ Ѱ谡 ־ CVD üǰ ִ. ݵü ̼ȭ ݵü ִ.
ؿ CVD ȭ
CVD ַ ؿ Կ Դ. ̱ ö̵Ƽ, Ϻ ϷƮ ؿ ü ۷ι ݵü ؿԴ. ֱ Z SK̴н CVD ä CVD ȸ ߴ. CVD ȸδ ܿ ũ, Ʈ, IPS ִ.
۷ι CVD ü غ ۷ι 鿡 ͷ PER ŷǰ ִ. ϸ ͷ ̳ PBR ŷǰ ִ.
ٸ ݵü ݵü ڿ ũ ̴. ֱ Zڰ ݵü ڸ ݵü ü ְ ϶ߴ. ֱ ؿ õ 5 ʱ Z ÷ ÷̰ äõ ʾҴٴ ũ.
Z ݵü ڰ ݱ ߵ 2б 278 70% ߴ. 忡 Ծ ͵ 14 157% 36 ߴ. ̷ 嵿Ȯ ǽ İ(Dry Etcher) ¾ CVD ȭ ǰϰ ִ.
ֱ ܱ ż
ܱ 2 ֽ ŵϱ ߴ. ܱ ŵ ܱ 1.7% 0.9% ϶ߴ. ֱ ܱ Ÿŵ ̰ ִ. ܱ 19Ϻ ŷ ֽ żߴ. ܱ 1.0% ٽ ϰ ִ.
ֽMRI м : 9%
ڰ ֽMRI м ŷµ 25 17 ü 163( 9%) ߴ.
߰ ϸ 繫 ̴. Һ ȭǸ ͼ ϶ ɼ ִ.
â¿ Ҵ. ֱ 4б 帧 (-) бⰡ ־, 帧 (-) ģ ݿƴ.
ֽMRI ڿ ü ǽð м . MRI ͼ强 繫 Ӹ ƴ϶ Ӽ ִ ° ְ ر Բ ǴѴ. ֽMRI 25 ְ ̸ 췮 ̴. 5 ΰ · Ÿ.
( 0)