ũ ܱ ż ԵǴ ¼. 26 1 45 ũ 4.4%(700) 16600 ŷǰ ִ. ż 1 ŷ ġ âκ 25245 ڡ ֹ ִ.
ũ ݵü () ȭб(LP CVD) ü. ݵü ʿ信 ȭ, , Ѿ ϴµ, ̴ ٷ CVD . ó ݵü ھü ̵ ȹ CVDü ¿ȴ.
ֱ ũ ְ ߴ. Z, SK̴н Ϲݱ ݵü Ѵٴ 鼭 4 26000̾ ְ 13 15100 ϶ߴ. 23 ѱ 2б ߹ݱ ݵü ü ȣ , 5 Z, SK̴н ֿ ڰ Ȯ ƴ١ ũ CVD ü 2б б 25~55% ̶͡ .
ְ ϶ ƴ Ÿ ѱڹڻ( ѱ) ũ ߴ. 13 ѱ ũ 5.04% ϰ ִٰ ߴ. ѱ ũ 5%̻ ø 3 ó̴. ܱ ̼ ŷ ΰǸ鼭 ѱ ٽ ø Ǯ̵ȴ.
ֽMRI м , 1%
ڰ ֽMRI м ũ ŷµ 25 23 ü 2( 1%) ߴ.
ֿ ϸ 繫 ̴. Һ ͼ ɼ .
ֽMRI ڿ ü ǽð м . MRI ͼ强 繫 Ӹ ƴ϶ Ӽ ִ ° ְ ر Բ ǴѴ.
ֽMRI 25 ְ ̸ 췮 ̴. 5 ΰ · Ÿ.
( 0)