ũ 4 ݵ. 9 11 20 ũ 1.2%(200) 17000 ŷǰ ִ.
ֱ ũ ݵü ܱ ߴ. к ֱ Z, SK̴н Ϲݱ ݵü ϰ ִ ˷. ҽ 鼭 ũ ְ 4Ϻ 6ϱ 12% .
ũ ݵü () ȭ(LP CVD) ü. ݵü ʿ信 ȭ, , Ѿ ϴµ, ̴ ٷ CVD . ȥս ȭй ̿ ʿ Ű , ȭ ⸦ ħŲ CVD(Chemical Vapor Deposition) θ.
Z, SK̴н ݵü ü ڰ þ鼭 ũ ƴ. 1б 752 146% ߴ. 186 197% þ, 150 194% ߴ.
ֽMRI м , 1%
ڰ ֽMRI м ũ ŷµ 25 23 ü 2( 1%) ߴ.
ֿ ϸ 繫 ̴. Һ ͼ ɼ .
ֽMRI ڿ ü ǽð м . MRI ͼ强 繫 Ӹ ƴ϶ Ӽ ִ ° ְ ر Բ ǴѴ.
ֽMRI 25 ְ ̸ 췮 ̴. 5 ΰ · Ÿ.
( 0)