[м] ƼŨ
1. ݵü
ƼŨ ݵü Ŭ ̷ è(Chamber) ¸ ִ Ͽ Ѵ. ݵü è(Chamber) , ¸ ؾ ϱ Ǿ ִ.
ݵü ¿ Fore Vacuum ǽ , High Vacuum Ȯ, ͺ, ڵ巡, ũ̿ ִ. ƼŨ ϴ ǽ è Ǹ, ݵü ͺ κ ǰ ִ.
ƼŨ ũ ġ ǽ ϰ ִµ, 塯 īڡ ǰ ٸ, Է¿ ̰ ֱ ݵü ִ Ȳ̴.
žũο(Hook & Crawl) ġ ǰ ƼŨ ϰ ִ CVD è , ƼŨ ũ ġ Է ϱ 鿡 ϸ, Zڡ CVD ƼŨ ϰ ִ. ƼŨ 塯, īڡ Z 30% ϰ ִ.
ƼŨ 90% Zڡ ̷ , 5% ̴н, 5% ǰ ִ. ֱ ̴н Ϻ ̴н ϰ ִ.
ƼŨ ǰ ū Ư¡ ũ ȸ Է ִ. ٽ 24ð 6,300rpm ȸϴ ũ ۿ ִ. ũ ̿ ƹ͵ ũ簡 ȸ Ÿ ϴ ͵ ٽ̴. ȸϴٰ ణ̶ ̸ ũ簡 ε ̴.
, ũ簡 ȿ Ǵ Ͽ¡ ƼŨ ٽ̶ ִ.
24ð 6,300rpm ȸϴ 1 ּ 1~2ȸ ֱ ʿϴ. 23% Ը̴.
2. LCD 嵿
ƼŨ LCD غ ߿ ִ. 1998 Zũ ڵȭΡ лϿ Z LCD ǰϰ ִ ̡ ռ Ʈ ϰ ִ ˷ ִ.
LCD 1,600 Ը ̸, Ϻ Ȳ̾, 塯 塯 Ͽ 80% M/S ϰ ִ.
ƼŨ , ݵü 忡 30% M/S ǥ ϰ ִµ, Ļ , ɼ Ǵܵȴ.
LCD ݵü 忡 Ĺӿ ұϰ Ư Ư 30% M/S ̷ﳽ ȴ.
ٸ, ֿǰ üֱⰡ 5 ª Ⱓ ƴ϶ ƽ κ, 1~2ȸ ϱ κ ȮǾ ִٴ ̴. , þ Ը þٴ ŷ̴.
( 0)