[м] Ʈ
Ҹ ǰ
Ʈ ǰ ũ CVD ETCH Glass ϰ ȮŰ ǰ ö ¸ , Glass µ ϰ Ű ǰ ִ.
ֿ ǰ CVD, Etcher ǰ DZ ֱ(2~3ȸ) ־ ϰ 1~2 ֱ űǰ üϴ Ư ִ.
ū ϰ ũ ϰ ִ.
Ʈ ڴ ü(̱, Ϻ)ε, ü 1Ⱓ ü ־ å ־ Ʈ ű 1 Ŀ ϴ Ư ִ. Ϻ ̱ ü ƹ Ʈǰ ƴ ڱ ǰ 찡 ̴.
̴ ĥ ε, 7 ũ ϰ Ϲݱ 7 õ ֱ ̴. Ʈü 8 ڸ ȹ ߿ ִµ ̸ 2008~2009 ٰ ִ. þ ǰ DZ ȿ ĸ Ÿ ִ.
ٺȭ ó
Ʈ ֿ ó ü Z(33%), LGPL(22%), AKT(22%) Ư ִ. Z LGPL ü ÿ ǰϴ ǰü ӿ ұϰ 翡 ǰϰ AKT, ADP ǰϰ ־ ó Ȯϰ ִ.
ESC /ȭ űԽ
ƮǴ ֱ ݵü/LCD ǰ ȭ ߰ ϳ LCD ٽ Etcher ESC(Electronic Static Chuck: ô) ǰ LGPL, ADP Բ ʷ ߿ Ͽ гξü ü Ʈ Ϸߴ.
ESC è ο Ϻؿ Ű ٽ ǰ̴. Ŀ鼭 5.5 ̻ ESC ʼ ǰ ǰ Etcher ϴ Ϻ TEL簡 ϰ ִ ΰ ǰ ȭ ü ū ǰ̴. ESC Ϲݱ Ĺ ǰ ִ.
ESC LGPL ϷϿ Zʿ ǷϿ LGPL, Z ο ̴.
LCD ESC ݵü ESC Ͽ ߿ ִ. 2,000, 6,000 Ը ߿ Ѵٸ ĥ ִ ū ̴. ƮǴ 08 5% 120 ȹϰ ִ. ̴ ߿ Ѵٸ ⼺ ̴.
븸 ߽ ȭ
븸 06 10 弳 Ϸ ִ. 븸 Ը Ը Ǿ ִµ ESC ° ȭ 븸 ̴. 븸 ֿ ŷ AKT ̷ AUO, CMO ŷ ΰ ̴.
Ʈ ε ȴٰ Ѵٸ(븸+űԻ) 2008 ȸ ü 1,000 Ը ȸ δ.
븸 ȭ, ݵü ESC, ( ) ־ Ѻ ʿ䰡 ִ.
( 0)