м żõ ƴ м ڳ м ذ մϴ.
ݵü üμ , ڹ, Ƽ̰ ִµ ְ Ǵ ŷ̶ ǴϿ ü м ǽ ϴ.
1995 ȸ ݵü, LCD Ҹ Ǵ μ ˷̳, Ǹ, 7,000 ̻ μ ǰ ϴ üԴϴ. Z, ̴н, LGPLCD, ξƳݵü, ּϾ, ̵ ü ϰ AUO, UMC, ϺTI, ù ǰ ϰ ֽϴ.
μ Ư ˷̳ Ϳ ֱ LCD 300mm ڰ ΰʿ LCD ¿ űԶο ۷ ȭ ٸ ΰġȭ ÿ ǰ ֽϴ. Ҹ Ǹſʹ ִ м ٰȭ Ͽ 繫 ϰ ߿ ֽϴ..
簡 ݵü Ư¡ Ȳ ϰڽϴ..
< ݵü Ư¡ >
1) ݵü ȯ ټҰ ⺯ ̹ϸ, Ư Ͽ ϹǷ ü Ͽ ݵü ̸
2) 2002 ݵü Ȳ ұϰ .
3) ںٴ ݵü ɷ° ȭ ū ް ִ Ȳ̸ Z 300mm ̴н ݵü Ȯ ξƳݵü 簳 Ȳ ¹ ߵǸ Ϻδ ̹ ο ϰ ִ Ȳ.
< ݵü Ȳ >
ݵü Ĩ ϰų, Ĩ ϴµ Ǵ Ĩ Ͽ ϼǰ µ Ǵ 縦 Ѵ.
縦 ݵüڷ ϼŰ ʴܰ پ ȭ ó ʿϸ, ̴ ݼǰ, ȭǰ پϴ. ݵü ü ϴ 翡 ó ̴ ϴ ƾ ̴.
ݵü ũ , , 3 Ǵµ, ݵü Ǵ ϸ, ۸ Ͽ Chip ϴµ Ǵ 丶ũ, ䷹Ʈ, ݵü ȭǰ , , ̾, Ű ȴ.
ֱٿ ظ ݾ ϰ 44 % Կ ϴ Ÿ , κ Ϻκ ϰ ִ.
ݵü ü Ȯ ü ȭ (40% 뿡 60% ) ϰ ִµ ݵü ÷ Ű ݵü ִ.
ó ü Ȯ ¿ ұϰ ؿ ó پ ʰ ִ ䷹Ʈ, Ÿ, , Ư ݵü о߿ ü ϴ κ ǰ 64MD Ͽ Ǵ ǰ ٽ ΰġ ǰ κ Ϻ̱ κ , ϰ ֱ ִ.
ݵü ̰ ÷ ݵü ῡ ȭ ü ΰġ ǰ ̺ ھü ü ϰ ִ. Ư ݵü ϴ ݸ ü ҷ ģٴ ھü ȯ ִ ͵ ֿ мȴ.
(ñ)
* LCD - Ÿӽ 2004.08.06
` ǹ' ۿ, ü 40%, `100% ȭ'
ݵü ݿ Ǵ () 100% ȭ Ͱ , LCD ̵ ij 40% Ұ Ÿ. 5 þ迡 TFT LCD ϸ鼭 LCD ̵ ij 䰡 ũ ð , ZڤLGʸLCD̵ ֿ ü Ƿ 60% ؿ ǰ ϰ ִٴ ̴. ̴ ݵü ݿ Ǵ ü 100% ȭ ϴ Ȳ ũ Ǵ ̴.
Ƽ LCD ij ü ܻ꿡 ǰ ū ̰ , ұϰ, LCD гξü 꿡 (Ϻ)(̱) ܱü ǰ ȣϰ ִٸ ǰ Ȯ븦 ˱ϰ ִ.
ij ü ڴ "7 ǰ ݰ ߰ ְ, ɵ ̰ LCD г ü ü ¿ ǹ ϸ ִ" ߴ. ٸ ü ڴ "ڵ ̰ ǰ ܱ ǰ ȣϴ Ϲ"̶ " ij 쵵 ̰ Ű κ ް ִ " ߴ.̿ LCD г ü ü ǰ ɷ ܻ ¿ ̶ ϰ ִ., ۸ ϴ ϴ Ҹǰ Լ(Si) Է 99.9% Ϲ(95%) Ӹ ƴ϶ µ 2000ɿ ̸ ¿ , Ȯ强 ־ LCD δ ǰ ִ. ( Ȳ ȣǰ ִ ǴܵǸ ȭä ִ Դϴ..)
簡 ϴ ǰ ϰ 캸 ü м ڽϴ..
(1) ͽ
- ݼ Ḧ ϰ ־ ó 깰
(2) ͽ Ư
- Ư (, , 浵, μ ) .
- Ư ( ) .
- Ư (ȭ ) .
- ȭ Ư (ļ, ) .
(3) ͽ 뵵 ( )
. ݵü : ġ .
- κü. , ü, GAS ö SHIELD
- , ǰ
. DISPLAY (TFT - LCD ) : TFT CVD , DRY ETCH ,
SUPTTER ַ .
- SIZE ROBOT END EFFECTOR
- ߿ ߵ PLATE SHAFT
- INSULATOR PLATE
- GAS ö SHIELD PLATE
- . ߿ ߵ PARTS
- ̼ۺο Ǵ ħļ ǰ
. ö : ħļ ̿ ǰ
- , ̼, ġ ̿ LINER
- νļ GAS ߵ LINER
- ̿ BOAT, CRUCIBLE, SETTER, SAGGER
<ڻ >
Ը ڻ//ں/ä ̴ ִ ̸ װ 00 ~ 03 ü (150) ۳ ̷ ֽϴ..ڻ ȯǴ ȿ (ڻȸ) ״ ƴϸ ִ ü 캸ڽϴ.
ü 03 ڰ Ǿ 04 ̾ ̸ (ڻ߿ ڻ, 帧ǥ ڻ ) 05 ڰ Ǵܵ˴ϴ.. 04 Ȯ Ǵ Ǹ 帧 05 ķα ̾ 캼 ʿ䰡 ְڽϴ..
ü ǰ Ȯ밡 ̷ 캸ڽϴ.
ǰ ߿ ˷̳ Ǹ о ڰ ȮǾ ֽϴ..
캸 簡 ϴ ǰ Ȳ ᰣ 캸ڽϴ.
μ (˷̳, Ǹ, ) о߿ Ѵٰ Ͽϴ..
1) ˷̳ (Al2O3)
˷̳ ͽ ǰ ݵüо о߷ ִµ ݵü оߴ 縦 Ͽ , , NSP ַ 4簡 ϰ оߴ ö () ߰߾ü Ÿ ұ ϰ .
ݵü о߿ ־ ش ü ŷü 鿡 ϸ ٸ ݵüü Ϻο ϴ ݸ鿡 ݵüü (Z, ̴нݵü, Ƴݵü ) ݵüü (ѱDNS ) LCD ھü(Z, LGʸ ) LCD ü(ּϾ, ̵ǿϾ ) ǰ .
ݵü ˷̳ǰ ־ ܼϸ鼭 䱸 ʴ ǰ ؼ ǰ , 䱸ǰų ϰ ũⰡ ؼ ǰ κ Ǿ .
ֱ ݵüо߿ ־ 300mm ٰ鼭 300mm ڷ 䰡 Բ CIP(Cold Isosstatic Pressing) üڸ Ϸ . ڱݾ 10 CIP ܼ ǰ ǰ 뷮 ִ Ϲݱ뼼 о߿ Ͽ ó ٺȭŰ ݰ Ȯ .
2) Ǹ (Silicon)
ݵü ڸ µ ȵ ֿ Silicon Ⱓ 1,500
ҿǰ , 10% 23 ü ϰ
Կ ϰ ְų ̿ ġ ϰ ִ .
ݵü ſ ִ ÿ ȯ
ſ ٽɱ Ǿ .
, Silicon 10 ȸ (GE, Toshiba) ϰ ִ ȭл LGƮа MEMC Ǹ .
ݵü Ǵ Silicon ũ Siǰ Siؽ ǥǴµ
Siǰ ϰ , о߿ ־ 30%
ϰ . ̷ Si ǰ ־ ߿
(Polishing) ʷ ǰȭ߱ .
ݵü Ǹǰ ȮǾ ִµ ܰϰ ̷ ־ ŷµ .
Ǹǰ ü ſ þ鼭 ϹȭǾ
̸ Ǹ ϴ ΰƮ(Ingot) Ǹϴ ǰ ܰ
ֱ .
ݵü ־ ǰ 簡 Ǹǰ
üǰ ִµ ̴ Ǹ ̸鼭
ϱ ִ ֱ .
, ſ ϴ 縦 ؾ
Ǵ Ǹ ϴ ݵü Ǹǰ 䰡
ð Ƿ ܰ¸ ִٸ ų ֽϴ.
* Si-SiC(Ǹ īƮ)
30 ڸ ݵü SiC(Ǹ īƮ) ǰ .
̹ ϴ SiCǰ ݵü LP-CVD ̿.
ݵü SiCǰ ִ ũ 3mm ó ϰ
Ǹ̳ 翡 â ļ .
SiC ݵü Ӹ ƴ϶ پ ǰ߷ Ͽ
.
3) (Quartz)
3 ̿ܿ ſ ұԸ ü 忡 ϰ ְ, , , ݰ Diffusion Part ַ ϴ ü ݸ, Spare Part ֿ ϴ ̸ .
ü ϰ ִ Ǿ θ ؾ߸ ϴ ǰ ü ϰ ٸ ͼ ϱ ư, Դü Ͽ ͼ ̹ ǰ ȭ ¿ ϱ ƿ.
Focus Ring Ͽ ݵü Ring ǰ üǰ ַ ϰ а ٸ ȸ翡 Ͽ .
4)
ݵü ȭ, ȭ ʿ 꿡 ̿Ǵ ȭ, ȭ Ǿ ִ ݵüü üں Ȯ ȯ ݵü ǰ ź Ȯǰ .
ּüδ м ° ü Ȯ ü ڹڰ , κ ܼó ϴ ұԸüμ Ȯʿ ּ ǵ .
̷ ǰ Ȳ ˷̳, Ǹ о ڸ ȮϿ ٰȭ ȯ Ͽ ȸ ͼ ϴ Ǵܵ.
̷ 帧ӿ ۳ ˷̳ Ǹ о Ȯ űԻ ڿ Ǵܵɼ .
ٸ ͼ ѹ ˾ƺ
03, 04 Ȯ뿡 Ŀ ִ ¿ ԵǴ 帧 پѴ ߰ ڰ ̷ ʴ´ٸ δ.( ȣ Ǵܵȴ.)
뱸 캸 ״ 03 Ȯ 13% ߰ Ȯ밡 ̷ ʴ´ٸ ҷ ǰ ι ҽų ũǷ ȣ ִ.
鿡 ټ ִ ΰǺ , ΰġ ݾ ϶ Ⱦ ȸ Ǵ Ȯ ҵ Ŀ ʴ´..
ȸ 鿡 ϰ ־ ( 05 3 ڻ 150, ä 50 ü 170 ڻ꿡 ) ̺κ ذؾ ΰ ϴ..
Ư ģ ڻ Ȳ ģ ڽŰ ƴϸ Ǵ ΰ ʿ䰡 ϴ..
( ڻ ǻ 1 2 ǽ, ݱ 610Ͽ ǽ..
1б ڻԸ ټ Ȯ )
ٸ ڻ ǰ / ° Ȳ ȣ Ե ڽŰ ɽ .
05 ھü űFAB (Z 13,14 SƮ, ̴н T1,T2 Ʈ, ξƳ ) 300 m/m 꿡 ʿ ű ֿ ־ ȸ Ǵ LCD ص Ǹ ( 310 ~ 340 ) ݵü ȸ Ʈ ؿ ü , ݵü ü ¹ 뷫 07,08 ũ ̷ ȴ.
(뷫 700 - ְ Ǵ.)
ñ׳η Ǵ üڰ 06 ߹ݿ ѹ ̷ Ǹ /ǰ ȭ ä ϰ · ӹ ִ Ȳ ü鿡 ŭ ȸ Ŀ ȴ.
ֱ õ 縦 ÷Ͽ ڽϴ..
(ñ)
ݵüLCD ' ǰ' αⰡ - ڽŹ 2005.07.08
ö 300 ݵü ΰ 7 LCD ļ ǰ 䰡 Ŀ ش ü ǰ ߿ ִ.
7 迡 Ƽ ˷̳Ǹ 縦 ߽ ǰ ȭϰ ڹڡ ǰ Ȯϰ ִ.
ڴ ǰ Ҹ̶ 䰡 ϰ ǰ Ұῡ ʿ ΰ ġ ١ ߴ.
Ƽ(ǥ ȫ) ļ ˷̳ ǰ 7 LCD ó ϰ 輱 ҿ ̹ ִ Ǹ ǰ 굵 ̰ ִ.
ȸ ⺸ ֹ 30% ̻ þ ǰ 40% ߴ١ 3m ̻ ִ 40% 325 ̶͡ ߴ.
ݵ , Ǹī̵(SiC) ű Ѵ.
ڹ(ǥ ) ܿ ͼ ô(ESC) ö ǰ ű , о߿ 100 øٴ ǥ. 200 ۿ ô Ǹ ̸ 300 ǰ ̴.
ü (ǥ ȫ) LCD ǰ 忡 Ƽ(ǥ ̼â) SiC 3ȣ ű .
P.S
м 7 18ϳ ǽϿ ǥ 2б ߽ϴ..
1) 2б
2б 1б 34% þ 70, 80% 12 45% 13 ..
ݱ 120 19 22 ˴ϴ..
2) ް
02 3 600ҿ شϴ μǺλä Ͽ 03 3 600 ȯϿ. 600ҿ μ ȿ .
簡 Ǿ 3 3,700̸ 繰 뷫 215ַ . 簡 2ȸ ܽ忡 μ 107 Ͽ ϰ .
ô ̽ϴ..
оϴ.
дٰ ģ ε, ̶ ɱ ôµ, Ʈ ݵ ؾ߰ڱ.
ֽİ ȵǾ ó м ϳµ, ó ̷ ö ־..
ص ȸ ְ 4700 ε, κ ϴ. κ 1 ڶϴ ȸ, .
1б ö ε, ڸ Դϴ.
ϼ~