• ġ, ߱  ַ
  • 20240405_ũ_

ϴ ݵü ü - Ƽ

м żõ ƴ м ڳ м ذ մϴ. 

 

ݵü üμ , ڹ, Ƽ̰ ִµ ְ Ǵ ŷ̶ ǴϿ ü м ǽ ϴ.

 

1995⿡ ȸ ݵü, LCD Ҹ Ǵ μ ˷̳, Ǹ, 7,000 ̻ μ ǰ ϴ üԴϴ. Z, ̴н, LGPLCD, ξƳݵü, ּϾ, ̵ ü ϰ AUO, UMC, ϺTI, ù ǰ ϰ ֽϴ.

 

μ Ư ˷̳ Ϳ ֱ LCD 300mm ڰ ΰʿ LCD ¿ űԶο ۷ ȭ ٸ ΰġȭ ÿ ǰ ֽϴ.  Ҹ Ǹſʹ ִ м ٰȭ Ͽ 繫 ϰ ߿ ֽϴ..

 

׷ 簡 ݵü Ư¡ Ȳ ϰڽϴ..

 

< ݵü  Ư¡ >

 

1) ݵü ȯ ⵵ ټҰ   ⺯ ̹ϸ, Ư Ͽ ϹǷ  ü Ͽ ݵü ̸

 

2) 2002 ݵü Ȳ ұϰ .  

 

3) ޸ ںٴ ݵü ɷ° ȭ ū ް ִ Ȳ̸ Z 300mm   ̴н ݵü Ȯ ξƳݵü 簳 Ȳ ¹ ⵵ ߵǸ Ϻδ ̹ ο ϰ ִ Ȳ.

 

< ݵü Ȳ > 

 

ݵü Ĩ ϰų, Ĩ ϴµ Ǵ Ĩ Ͽ ϼǰ µ Ǵ 縦 Ѵ.

׷ 縦 ݵüڷ ϼŰ ʴܰ پ ȭ ó ʿϸ, ̴ ݼǰ, ȭǰ پϴ.  ݵü ü ϴ 翡 ó ̴ ϴ ƾ ̴.

 

ݵü ũ , , 3 Ǵµ, ݵü Ǵ ϸ, ۸ Ͽ Chip ϴµ Ǵ 丶ũ, ䷹Ʈ, ݵü ȭǰ , , ̾, Ű ȴ.

 

ֱٿ ظ ݾ ϰ 44 % Կ ϴ Ÿ , κ Ϻκ ϰ ִ.

 

  ݵü ü Ȯ ü ȭ (40% 뿡 60% ) ϰ ִµ ݵü ÷ Ű  ݵü ִ.
 

ó ü Ȯ ¿ ұϰ ؿ ó پ ʰ ִ ䷹Ʈ, ͸ Ÿ, , Ư ݵü о߿ ü ϴ κ ǰ 64MD Ͽ Ǵ ǰ ٽ ΰġ ǰ κ Ϻ̱ κ , ϰ ֱ ִ.

 

ݵü ̰ ÷ ݵü ῡ ȭ ü ΰġ ǰ ̺ ھü ü  ϰ ִ. Ư ݵü ϴ ݸ ü ҷ ߻ ģٴ ھü ޼ ȯ ִ ͵ ֿ мȴ.

 

(ñ)

* LCD ޷   - Ÿӽ 2004.08.06 
` ǹ' ԰ ۿ, ü 40%, `100% ȭ'

 

ݵü ݿ Ǵ (׸) 100% ȭ Ͱ ޸, LCD ̵ ij 40% Ұ Ÿ. 5 þ迡 TFT LCD ޼ϸ鼭 LCD ̵ ij 䰡 ũ ð , ZڤLGʸLCD̵ ֿ ü Ƿ 60% ؿ ǰ ϰ ִٴ ̴. ̴ ݵü ݿ Ǵ ü 100% ȭ ϴ Ȳ ũ Ǵ ̴.

Ƽ LCD ij ü ܻ꿡 ǰ ū ̰ , ұϰ, LCD гξü 꿡 ԰ (Ϻ)(̱) ܱü ǰ ȣϰ ִٸ ǰ Ȯ븦 ˱ϰ ִ.

ij ü ڴ "7 ǰ ݰ ߰ ְ, ɵ ̰ LCD г ü ü ¿ ǹ ϸ ִ" ߴ. ٸ ü ڴ "ڵ ̰ ǰ ܱ ǰ ȣϴ Ϲ"̶ " ij 쵵 ̰ Ű࿡ κ ް ִ " ߴ.̿ LCD г ü ü ǰ ɷ ܻ ¿ ̶ ϰ ִ., ۸ ϴ ϴ Ҹǰ Լ(Si) Է 99.9% Ϲ(95%) Ӹ ƴ϶ µ 2000ɿ ̸ ¿ , Ȯ强 ־ LCD δ ǰ ִ. ( Ȳ ȣǰ ִ ǴܵǸ ׷ ȭä ִ Դϴ..)

 

׷ 簡 ϴ ǰ ϰ 캸 ü м ڽϴ..

 

(1) ͽ  
- ݼ Ḧ ϰ ־ ó 깰

 

(2) ͽ Ư 
- Ư (, , 浵, μ ) . 
- Ư ( ) . 
- Ư (ȭ ) . 
- ȭ Ư (ļ, ) .

 

(3) ͽ 뵵 ( ) 

. ݵü : ġ .   
  - κü. , ü, GAS ö SHIELD    
  - , ǰ   

. DISPLAY (TFT - LCD ) : TFT CVD , DRY ETCH ,

     SUPTTER ַ .   

  - SIZE ROBOT END EFFECTOR    
  - ߿ ߵ PLATE SHAFT    
  - INSULATOR PLATE    
  - GAS ö SHIELD PLATE    
  - . ߿ ߵ PARTS    
  - ̼ۺο Ǵ ħļ ǰ       

. ö : ħļ ̿ ǰ   
  - , ̼, ġ ̿ LINER    
  - νļ GAS  ߵ LINER    
  - ̿ BOAT, CRUCIBLE, SETTER, SAGGER

 

<ڻ >

 

 

 Ը ڻ//ں/ä ̴ ִ ̸ װ 00 ~ 03 ü (150)  ۳  ̷ ֽϴ..ڻ ȯǴ ȿ (ڻȸ) ״ ƴϸ ׿ ִ ü 캸ڽϴ.

 

 

 

ü  03 ڰ Ǿ 04 ̾ ̸ (ڻ߿ ڻ, 帧ǥ ڻ ) 05 ڰ Ǵܵ˴ϴ.. 04 Ȯ Ǵ Ǹ 帧 05 ķα ̾ 캼 ʿ䰡 ְڽϴ..

 

׷ ü  ǰ Ȯ밡 ̷ 캸ڽϴ.

 

 

 

ǰ ߿ ˷̳ Ǹ о ڰ ȮǾ ֽϴ..

캸 簡 ϴ ǰ Ȳ ᰣ 캸ڽϴ.

μ (˷̳, Ǹ, ) о߿ Ѵٰ Ͽϴ..

 

1) ˷̳ (Al2O3)

˷̳ ͽ ǰ ݵüо о߷ ִµ  ݵü оߴ 縦 Ͽ , , NSP ַ 4簡 ϰ оߴ ö () ߰߾ü Ÿ ұ ϰ .

 

ݵü о߿ ־ ش ü ŷü 鿡 񱳸 ϸ ٸ ݵüü Ϻο ϴ ݸ鿡 ݵüü (Z, ̴нݵü, Ƴݵü ) ݵüü (ѱDNS ) LCD ھü(Z, LGʸ ) LCD ü(ּϾ, ̵ǿϾ ) ǰ .

 

ݵü ˷̳ǰ ־  ܼϸ鼭 䱸 ʴ ǰ ؼ ǰ , 䱸ǰų ϰ ũⰡ ⹰ ؼ ǰ κ Ǿ .

 

ֱ ݵüо߿ ־ 300mm ٰ鼭 300mm ڷ 䰡 Բ CIP(Cold Isosstatic Pressing) üڸ Ϸ . ڱݾ 10 CIP ܼ ǰ ǰ 뷮 ִ Ϲݱ뼼 о߿ Ͽ ó ٺȭŰ ݰ Ȯ .

 

2) Ǹ (Silicon)

ݵü ڸ µ  ȵ ֿ Silicon Ⱓ 1,500

ҿǰ , 10% 23 ü ϰ

Կ ϰ ְų ̿ ġ ϰ ִ .

ݵü ſ ޵ ִ ÿ ȯ

ſ ٽɱ Ǿ . 

, Silicon 10 ȸ (GE, Toshiba) ϰ ִ ȭл LGƮа MEMC Ǹ .

 

ݵü Ǵ Silicon ũ Siǰ Siؽ ǥǴµ

Siǰ ϰ , о߿ ־ 30%

ϰ . ̷ Si ǰ ־ ߿

(Polishing) ʷ ǰȭ߱ .

 

ݵü Ǹǰ ȮǾ ִµ ܰϰ ̷ ־ ⿡ ŷµ .

Ǹǰ ü ſ þ鼭 ϹȭǾ

̸ Ǹ ϴ ΰƮ(Ingot) Ǹϴ ǰ ܰ

ֱ .

 

ݵü ־ ǰ 簡 Ǹǰ

üǰ ִµ ̴ Ǹ ̸鼭

ϱ ִ ֱ .

, ſ ϴ 縦 ؾ

Ǵ Ǹ ϴ ߼ ݵü Ǹǰ

ð Ƿ ܰ¸ ִٸ ų ֽϴ.

 

* Si-SiC(Ǹ īƮ)
30 ڸ ݵü SiC(Ǹ īƮ) ǰ .

̹ ϴ SiCǰ ݵü LP-CVD ̿.

ݵü SiCǰ ִ ũ 3mm ó ϰ

Ǹ̳ 翡 â ļ .

SiC ݵü Ӹ ƴ϶ پ ǰ߷ Ͽ

.

 

3) (Quartz)


(Quartz)ǰ ֿü , , ݰ .

3 ̿ܿ ſ ұԸ ü 忡 ϰ ְ, , , ݰ Diffusion Part ַ ϴ ü ݸ, Spare Part ֿ ϴ ̸ .

 

ü ϰ ִ Ǿ θ ؾ߸ ϴ ǰ ü ϰ ٸ ͼ ϱ ư, Դü Ͽ ͼ ̹ ǰ ȭ ¿ ϱ ƿ.

 

Focus Ring Ͽ ݵü Ring ǰ üǰ ַ ϰ а   ٸ ȸ翡 Ͽ 񱳿 .

 

4)


̶ ߿ ߻ϴ ̼ Ͽ ǰ ǰ ̴ ϴ о.

ݵü ȭ, ȭ ʿ 꿡 ̿Ǵ ȭ, ȭ Ǿ ִ ߼ ݵüü üں Ȯ ȯ ݵü ǰ ź Ȯǰ .

ּüδ м ° ü Ȯ ü ڹڰ , κ ܼó ϴ ұԸüμ Ȯʿ ּ ǵ .

̷ ǰ Ȳ ˷̳, Ǹ о ڸ ȮϿ ٰȭ ȯ Ͽ ȸ ͼ ϴ Ǵܵ.

 

 

 

̷ 帧ӿ ۳ ˷̳ Ǹ о Ȯ űԻ ڿ Ǵܵɼ .  

 

׷ٸ ͼ ѹ ˾ƺ

 

 

 

 

03, 04⵵ Ȯ뿡 Ŀ ִ ¿ ԵǴ 帧 پѴ ߰ ڰ ̷ ʴ´ٸ δ.( ȣ Ǵܵȴ.)

 

 

 

 

뱸 캸 󰢺 ״ 03 Ȯ 13% ߰ Ȯ밡 ̷ ʴ´ٸ 󰢺 ҷ ǰ ι ҽų ũǷ ȣ ִ.

 

 

 

鿡 ټ ִ ΰǺ , ΰġ ⿩ݾ׵ ϶ Ⱦ ȸ Ǵ   Ȯ ҵ Ŀ ʴ´..

 

 

 

ȸ 鿡 ϰ ־ ( 05 3 ڻ 150, ä 50 ü 170 ڻ꿡  )  ̺κ  ذؾ ΰ ϴ..

 

Ư ģ ڻ Ȳ ģ ڽŰ ƴϸ Ǵ ΰ ʿ䰡 ϴ..

( ڻ ǻ 1⿡ 2 ǽ,  ݱ 610Ͽ ǽ..

׷ 1б ڻԸ ټ Ȯ )

 

 

 

ٸ ڻ ǰ / ° Ȳ ȣ Ե ڽŰ ɽ .

 

 

 

 

05⵵ ھü űFAB (Z 13,14 SƮ, ̴н T1,T2 Ʈ, ξƳ ) 300 m/m 꿡 ʿ ű ֿ ־ ȸ Ǵ LCD ׷ ص Ǹ ( 310 ~ 340 )   ݵü  ȸ Ʈ ׷ ؿ ü , ݵü ü ¹ 뷫 07,08 ũ ̷ ȴ.

(뷫 700 - ְ Ǵ.)

 

ñ׳η Ǵ  ߼  üڰ 06 ߹ݿ ѹ ̷  Ǹ /ǰ ȭ ä ϰ   · ӹ ִ Ȳ ü鿡 ׸ŭ ȸ Ŀ    ȴ.

 

ֱ õ 縦 ÷Ͽ ڽϴ..

 

(ñ)

 

ݵüLCD ' ǰ' αⰡ - ڽŹ 2005.07.08 

 

ö ߻ 300 ݵü ΰ 7 LCD ļ ǰ 䰡 Ŀ ش ü ǰ ߿ ִ.

7 迡 Ƽ ˷̳Ǹ 縦 ߽ ǰ ȭϰ ڹڡ  ǰ Ȯϰ ִ.

 

ڴ ǰ Ҹ̶ 䰡 ϰ ǰ Ұῡ ʿ ΰ ġ ١ ߴ.

Ƽ(ǥ ȫ) ļ ˷̳ ǰ 7 LCD ó  ϰ 輱 ҿ ̹ ߻ ִ Ǹ ǰ 굵 ̰ ִ.

 

ȸ 󹫴 ⺸ ֹ 30% ̻ þ ǰ 40% ߴ١ 3m ̻ ⹰ ִ 40% 325 ޼ ̶͡ ߴ.

ݵ , Ǹī̵(SiC) ű Ѵ.

 

ڹ(ǥ ) ܿ ͼ ô(ESC) ö ǰ ű , о߿ 100 øٴ ǥ. 200 ۿ ô Ǹ ̸ 300 ǰ ̴.

ü (ǥ ȫ) LCD ǰ 忡 Ƽ(ǥ ̼â) SiC 3ȣ ű .

 

 

P.S

 

м 7 18ϳ ǽϿ ǥ  2б ߽ϴ..

 

1) 2б

2б 1б 34% þ 70, 80% 12 45% 13 ׿..

׷ ݱ 120 19 22 ߻˴ϴ..

 

2) ް

02 3 600ҿ شϴ μǺλä Ͽ 03 3 600 ȯϿ. ׷ 600ҿ μ ȿ .

簡 Ǿ 3 3,700̸ 繰 뷫 215ַ ߻. ׷ 簡 2ȸ ܽ忡 μ 107 Ͽ ϰ .

 

 

ô ̽ϴ..

 

 




ƮƮ ũα (0) ֱֱ(0)
:
|

 Ѹ ( 12)

  1. quadrupole
    quadrupole | 05.07/22 00:32
    |
    ϸ鼭 ظ Դϴ.
    оϴ.
    ۾
  2. бġڿȸ
    бġڿȸ | 05.07/22 02:01
    |
    Ϳ!
    ۾
  3. ٴ
    ٴ | 05.07/22 08:01
    |
    Ʈ մϴ.


    дٰ ģ ε, ̶ ɱ ôµ, Ʈ ݵ ؾ߰ڱ.

    ۾
  4. ۾
    ۾ | 05.07/22 09:18
    |
    ҽϴ~
    ۾
  5. | 05.07/22 09:58
    |
    մϴ~ оϴ~^^
    ۾
  6. ¾Ĵ
    ¾Ĵ | 05.07/22 15:14
    |
    ~~~ Ͻó׿... оϴ.. ϼ..
    ۾
  7. ġִ»
    ġִ» | 05.07/22 15:35
    |
    մϴ. غڽϴ. ^^
    ۾
  8. ݽ
    ݽ | 05.07/22 17:13
    |
    쵝~~~~~^^ ϼ̽ϴ......
    ۾
  9. hedger
    hedger | 05.07/22 19:39
    |
    Ǽ̴ٴ Դϴ,,߰ ۿ ݷ ּż մϴ..
    ۾
  10. ļ
    ļ | 05.07/25 00:36
    |
    ڹڿ м Ա.. ^^
    ۾
  11. steadyrun
    steadyrun | 06.04/14 16:54
    |
    ʾ ʾ׿..;;
    ֽİ ȵǾ ó м ϳµ, ó ̷ ö ־..

    ص ȸ ְ 4700 ε, 򰡵 κ ϴ. κ 1 ڶϴ ȸ, .
    1б ö ε, ڸ Դϴ.
    ׷ ϼ~
    ۾
  12. ̳
    ̳ | 06.09/20 01:07
    |
    ִµ, 밡 dz׿..
    ۾
Powered by Stockwatch


20240405_ũ_

츮-