• ġ, ߱  ַ
  • 20240329_ũ__
  • 20240125_ũ_
  • 20240123_ũ_繫ǥ
  • 20240117_ũ_ǿƮ
  • 20240112_ũ_ֽİġ
  • 20240108_ũ_ι
  • 20240103_ũ_ȸ繫ǥ
  • 20231229_ũ_ġڴ¿Ǵ
  • 20231222_ũ_λ

[úм] Ʈ, 1Q ޶...Ĵ?

ܵ

Ʈ 1б(4 1 ~ 6 30) ޴. Ʈ 9.3% ޶ 19500 ʰ ߴ. Ʈ 3 ̴.

(24) Ʈ 1б 140 ƴٰ ߴ. ̴ б 78% ̴. -2 ϸ ڸ, 98% پ 8200 ߴ. Ư ֱ б ڸ 3 б(1.1~3.31) װ ص 34% پ ̴.



Ʈ ݵü () ü. ݵü 80% Ѵ. ַ ǰ ȭб(LP CVD) . ݵü ʿ信 ȭ, , Ѿ ϴµ, ⿡ ̴ ٷ CVD .

CVD ǰ ¿ ݵü ϴٴ ִ. ݵü 뷮 ݵü (Diffusion) ȣ Դ. ׷ ݵü ̼ ݵü δ ϴ. ݵü ̼ϼ ؾ Ѵ. ׷ 뵿 ȣ Ѱ谡 ־ CVD üǰ ִ. ݵü ̼ȭ ɼ ݵü ԰ ִ.

2012 Ȳ ȭ ݵüü ڱԸ ϸ鼭 Ʈ ߴ. Ϲݱ Ʈ ٽ ƴ. ݵüü ڸ 簳 ̴. Ư Zڰ 9 ߱ þ 忡 3D ÷ ̲ δ.

޸ձǿ Ʈ 纰 Zڰ 95% Ѵ. 迡 3D ÷ İ Ŀ. 3D ÷ô ޸ (V) 带 ´ ̴. ÷ú ȿ а ӵ ̻ .

Zڴ 5 ߱ þ ϱ ߴ. ̿ ߱ þ ϸ鼭 Ⱑ ߻ 1б ŵ ľߴ.

 갡 2 ڰ ߴ. п Zڴ ڸ ÷ ּ 100޷(10) ̻ ȹ δ.  ưų  Ȯ ھ 52 ޷,  ߱ Ե 꼳 24 ޷ ˷.

ݵü   300mm (ݵü ᰡ Ǵ ) 10 ϱ 10 ڰ ʿ ִ. Z ȭ 16 ִ 귮 20 ̸ Ը 20 ˷. þ ִ 귮 10~125000̴.

̿ Ʈ (2014 4 ~ 2015 3)  1600, 208̴. ݿ ϷƮ ְ͹(PER) 10 ̴.







ƮƮ ũα (1) ֱֱ(1)
:
|

 Ѹ ( 0)

ϴ. ù° ּ.

* HTML ± Ͻ ϴ.

Է

Powered by Stockwatch


/ :

0 0 , 0 %

ֽMRI м

ڸŷµ
̼ offoffoffoffoff

0

/ 25

 offoffoffoffoff
繫 offoffoffoffoff
 强 offoffoffoffoff
 â offoffoffoffoff
* ֽMRI 췮 : ּ 15 ̻
* 3 ̸ м Ⱓ   ª Ϻ ٸ ֽϴ.
20240117_ũ_ǿƮ20240112_ũ_ֽİġ

츮-