Ʈ 1б(4 1 ~ 6 30) . Ʈ 9.3% 19500 ʰ ߴ. Ʈ 3 ̴.
(24) Ʈ 1б 140 ƴٰ ߴ. ̴ б 78% ̴. -2 ϸ ڸ, 98% پ 8200 ߴ. Ư ֱ б ڸ 3 б(1.1~3.31) װ ص 34% پ ̴.
Ʈ ݵü () ü. ݵü 80% Ѵ. ַ ǰ ȭб(LP CVD) . ݵü ʿ信 ȭ, , Ѿ ϴµ, ̴ ٷ CVD .
CVD ǰ ¿ ݵü ϴٴ ִ. ݵü 뷮 ݵü (Diffusion) ȣ Դ. ݵü ̼ ݵü δ ϴ. ݵü ̼ϼ ؾ Ѵ. 뵿 ȣ Ѱ谡 ־ CVD üǰ ִ. ݵü ̼ȭ ɼ ݵü ִ.
2012 Ȳ ȭ ݵüü ڱԸ ϸ鼭 Ʈ ߴ. Ϲݱ Ʈ ٽ ƴ. ݵüü ڸ 簳 ̴. Ư Zڰ 9 ߱ þ 忡 3D ÷ ̲ δ.
ձǿ Ʈ 纰 Zڰ 95% Ѵ. 迡 3D ÷ İ Ŀ. 3D ÷ô (V) 带 ´ ̴. ÷ú ȿ а ӵ ̻ .
Zڴ 5 ߱ þ ϱ ߴ. ̿ ߱ þ ϸ鼭 Ⱑ 1б ŵ ľߴ.
갡 2 ڰ ߴ. п Zڴ ڸ ÷ ּ 100(10) ̻ ȹ δ. ưų Ȯ ھ 52 , ߱ Ե 꼳 24 ˷.
ݵü 300mm (ݵü ᰡ Ǵ ) 10 ϱ 10 ڰ ʿ ִ. Z ȭ 16 ִ 귮 20 ̸ Ը 20 ˷. þ ִ 귮 10~125000̴.
̿ Ʈ (2014 4 ~ 2015 3) 1600, 208̴. ݿ ϷƮ ְ(PER) 10 ̴.
( 0)