| 밡Ǽ ڵ ' ѱ ߴٸ ?' ش ִ ڳԴϴ. ߱ 밡 ֿ ǥ Ұմϴ.
ĸ " ̻ ȸ縦 "귿 ĸ ڹ ̾ 簡ġ ֽ ϴ 밡. ĸ 2~3 Ⱓ 50% ̻ ɼ ִ ֽĿ Ѵ. ״ ġ ̻ ƴϸ ʴ´. ״ ʹ ġڵ ̸ 鿡 ߰ ִٰ Ѵ.
ĸ ġ ֵ Ѵ. ״ ̿ϴµ ֺ 翡 ٰ . ĸ 1998 ƽþ ݵü ȸ 10 ̻ .
귿 ĸ ݼ ڱںͷ(ROE) ̴. ̾ ó ְ ġ Ǿ ־ Ѵ. ĸ ؿ Ұ Ʈ̴.
귿 ĸ 'Ʈ'
Ʈ ݵü ü. Ʈ ַ ǰ нȭġ(LP-CVD). ݵü ݵü (Layer) ʿ䰡 ִ. Ⱑ ϴ κа ʴ κ ؼ.
LP-CVD ٸ ȭй ڵ ݵü ǥ鿡 ߷ ̳ ڸ Ű . ݵü ڱ ¿ ϼϴ ۾ Ҵ. LP-CVD ¿ ȭп ݵü ǥ鿡 ִ. ̴ ݵü ٽ .
ݵü ̼ȭ
ݵü ̼ȭ ݵü ִ Ʈ ̴ ۾̴. Ʈʹ ġ ON/OFF ؼ 1 0 Ÿ ⺻ǰ̴. ġ Ÿ ̰ų ġ ΰ ̸ ݵü ӵ ̰ Ǹ ִ. ̸ ݵü ̶̼ Ѵ.
̼ ġ ϼ ġ DZ . Ǵ ִ ϴ ݵü ߿ϴ. Ʈ CVD ǰ ¿ ݵü ϴٴ ִ. ص ݵü 뷮 ݵü (Diffusion) ȣߴ.
ݵü ̼ ݵü δ ϴ. ݵü ̼ϼ ؾ ϴµ 뵿 ȣ Ѱ谡 ֱ ̴. ݵü ̼ȭ Ʈ ݵü ü䰡 ȴ.
Z ݵü Ȯ Ʈ ۳ 1771 30% ߴ. 9% 241 ߴ.
ֽMRI м , 16%
ڰ ֽMRI м Ʈ ŷµ 25 16 ü 287( 16%) ߴ.
߰ ϸ 繫 ̴. Һ ͼ ɼ .
ٸ ̼ 2 Դ. ̴ ֱ Ʈ ְ PER 10.1 ŷ 5 PER 10.8 ū ̰ ʱ ̴.
ֽMRI ڿ ü ǽð м . MRI ͼ强 繫 Ӹ ƴ϶ Ӽ ִ ° ְ ر Բ ǴѴ. ֽMRI 25 ְ ̸ 췮 ̴. 5 ΰ · Ÿ.
Ʈ ̻ ȸ縦 żϴ ġ 밡 귿 ĸ ƴ. Ʈ ̻ غ.
( 0)